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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆研发线配套方案的超蒸馏水体系,每周诞生含硅污废水 150吨。污废水 中虽无高价属,但硅含量的高易水垢,且电阻功率率需超过18MΩ·cm能够回收。现有除工院艺没办法符合新公布的《光学化工业水污染问题物排放量口标准规定》(GB39731-2020)特点排放量口卫生防护距离。 工业废水营养成分优点和缺点 大部分被污染的物 :橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒度0.1-1μm) 个性化让 :TOC<10μg/L,硼含铁<5μg/L 生活饮用水性状 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅有机物要素更复杂 清理工作流程工作流程 科学创新应用"梯级膜分开+电去阳离子"女子组合加工: 微滤预补救 :1μm瓷砖膜短信拦截大粉末硅,通量能维持80LMH 铁离子对调光敏树脂 :D201大孔光敏树脂选定 性吸硅酸分子式 一级RO整体 :一段回收处理率60%,2段按照高脱硼膜零件 EDI电去铁离子 :直流电压规格2A/m²,持续时间的还原残留物阴阳离子 红外光谱灭菌 :254nm太阳光的太阳极为线残留量40mJ/cm² 技木特点 开发建设用阻硅剂(有机酸胺类黏结物),减慢膜污染破坏周期性3倍 EDI模组全新流道设计,硅清掉率大幅提升至99.8% 迅雷在线硅研究仪(校正位置0.1-500μg/L)做到脱贫把控 自动运行成效显著 经3.方验测: 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼占比从8μg/L调至0.3μg/L 模式收售率从原40%提升自己至68% 膜更改过渡期提高至5年,年启用资金减少35%

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