该厂为8英尺晶圆研发线配套方案的超蒸馏水体系,每周诞生含硅污废水 150吨。污废水 中虽无高价属,但硅含量的高易水垢,且电阻功率率需超过18MΩ·cm能够回收。现有除工院艺没办法符合新公布的《光学化工业水污染问题物排放量口标准规定》(GB39731-2020)特点排放量口卫生防护距离。
工业废水营养成分优点和缺点
大部分被污染的物
:橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒度0.1-1μm)
个性化让
:TOC<10μg/L,硼含铁<5μg/L
生活饮用水性状
:低纯水电导率(<50μS/cm)但硅有机物要素更复杂
清理工作流程工作流程
科学创新应用"梯级膜分开+电去阳离子"女子组合加工:
微滤预补救
:1μm瓷砖膜短信拦截大粉末硅,通量能维持80LMH
铁离子对调光敏树脂
:D201大孔光敏树脂选定 性吸硅酸分子式
一级RO整体
:一段回收处理率60%,2段按照高脱硼膜零件
EDI电去铁离子
:直流电压规格2A/m²,持续时间的还原残留物阴阳离子
红外光谱灭菌
:254nm太阳光的太阳极为线残留量40mJ/cm²
技木特点
开发建设用阻硅剂(有机酸胺类黏结物),减慢膜污染破坏周期性3倍
EDI模组全新流道设计,硅清掉率大幅提升至99.8%
迅雷在线硅研究仪(校正位置0.1-500μg/L)做到脱贫把控
自动运行成效显著
经3.方验测:
总硅从280mg/L高于0.05mg/L
硼占比从8μg/L调至0.3μg/L
模式收售率从原40%提升自己至68%
膜更改过渡期提高至5年,年启用资金减少35%