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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体器件IC芯片制做厂在晶圆激光加工操作过程中,的使用硅烷实施硅外加生長,氮氧化合物洗衣机清洗塔有高密度含硅焦化废气。焦化废气具pH震荡大(2-11)、硅浓度高的特性,传统化正确处理方式易产生硅垢闭塞间题。 废水处理方法的成分及由来 污水核心有效成分为: 降解性硅酸盐 :SiO₂氨水浓度达1000-1500mg/L 氢氧化的钠/氢氧化的钠 :洗衣塔耐酸碱洗衣液留下 小粒硅 :奈米级SiO₂胶体溶液 痕量砷 :原辅料杂物带去 正确处理技术程序流程 转型升级采用了"多级结合+膜滤过+蒸馏沉淀"工序: 二级与 :用CaO可以调节pH至4-5,转成硅酸钙沉淀物,硅删去率60%。 二次元中合 :加Na₂CO₃将pH改善至9,进每一步滤渣多余硅,串连用镁剂除砷。 反渗透装置控制系统 :0.02μm淘瓷膜进行过滤奈米级硅颗粒剂,通量稳定的在80LMH。 MVR汽化器 :原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 高盐生活污水,析出出Na₂SO₄副新产品,水回收利用率超90%。 后面功效 总硅从1500mg/L高于5mg/L以下的 砷硫含量从0.8mg/L调至0.01mg/L 装置无结渣使用低于2年 历年收购 硫酸钠钠晶胞约800吨

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