某半导体器件营造机构因晶圆洁净工艺产生了含氨工业废水，发电量200吨/天。工业废自来水中除氯离子外还内含氟化物和少量高价属，办理难易大。场地直接排放规则需求氯离子＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废污水材质及收入 晶圆刷洗废水处理方法（注意特征）：含氧化还原电位200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀步骤废水处理工艺：含进样器铜、镍等高价属，pH值浮动大 CMP考虑废液：含硅颗粒剂及氯离子 整理施工工艺方法 通过"生物学沉垫+膜破乳+折点氯化"整合工艺流程： 预正确处理 ：污泥脱水CaCl2除氟，抑制pH在7.5-8. 超滤膜系统 ：删去0.01μm左右粒状物 反渗透膜性和精浓 ：将高锰酸盐指数精浓至1000mg/L综上所述 折点氯化 ：准确度调节氯添加量，将氧化还原电位转换为氦气 亚铁离子交易 ：得到保障高价属标准 结果是特效 高锰酸盐指数稳定的＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属水平不超过检验限 水回收利用率达75% 工业废水有量增多40%